流程图：

原理：

在300 ~ 350℃高温下，通过燃烧碳催化剂，使原料氮气中的杂质氧与脱氧剂中的碳发生氧化（燃烧）反应，生产CO2，再通过冷却、吸附等方式除去气体中的水、CO2和尘埃等，从而获得高纯氮气。

特点：

1、稳定性好，含氧量严格控制在5PPm以下；

2. 纯度高，氮气纯度≥99.9995%；

3.含水量低、露点≤－60℃；

4.不含H₂，适用于对氢、氧有严格要求的工艺。

技术参数：

处理气量：5 ~ 1000m³/h

原料气(氮)含氧量：≤0.1%

产品气氧含量：≤10ppm

产品气露点:≤-65℃

设备相片：